Schließen

Telefonische Beratung

Sie möchten mit einem Experten sprechen? Sie suchen den idealen Sensor für Ihre Anforderungen? Dann rufen Sie uns an. Wir beraten Sie gerne bei der Geräteauswahl.

Lassen Sie sich über unsere Telefonzentrale mit Ihrem VEGA-Berater verbinden:

+49 7836 50-0

Service-Hotline

In einem Service-Fall ist die 24-Stunden-Hotline an allen sieben Wochentagen verfügbar. Der Service erfolgt in englischer Sprache, zu den üblichen Geschäftszeiten auch in deutscher Sprache. Sie bezahlen nur die ortsüblichen Telefongebühren:

+49 1805 85 85 50

(0)
Warenkorb auswählen

Es befinden sich bereits Produkte im Warenkorb Ihres Benutzerkontos. Welchen Warenkorb möchten Sie erhalten?

Gast-Warenkorb Bestehender Warenkorb

Abluftreinigung einer Waschanlage

Anwendungsbereich

Während der nasschemischen Reinigung von Silizium-Wafern entstehen nitrose Gase. Um die gesetzlichen Grenzwerte sicher zu unterschreiten, wird der Abluftstrom in einer nachgeschalteten Abluftreinigungsanlage behandelt. Eine der zentralen Behandlungsstufen sind Abgaswäscher. Waschflüssigkeit wird über eine Pumpstation im Kreislauf gefördert und in der Waschanlage fein versprüht, um Luftschadstoffe an die Flüssigkeit zu binden. Die mit Schadstoffen beladene Waschflüssigkeit wird periodisch durch Frischwasser ersetzt. Der Füllstand der Waschflüssigkeit wird kontinuierlich überwacht und während des Prozesses konstant gehalten. Die Füllstandmessung muss unabhängig vom Mischungsverhältnis der Waschflüssigkeit und von der Dampf- und Kondensatbildung im Behälter sichere Messwerte liefern.

Empfohlene Produkte


Anwendung speichern

Speichern Sie diese Anwendung als PDF.

PDF Download